半導體工業潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則
wenfeng丨2年前丨工業新聞丨798丨
無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room）、無塵室，是指將一定空間範圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細jun等汙染物排除，並將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別策劃的房間。即不論外在空氣條件如何變化，其室內均能具有維持原先所設定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性。潔凈室的擴展與現代工業、高技藝密切聯絡在一起。由於精密機械工業（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導體工業（如大規模集成電路生产）等對環境的要求，促進了潔凈室技藝的擴展。國內曾分析過，在無潔凈級別的要求的環境下生产MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業中應用潔凈室已相當普遍。經濟和科技發達的國家和地區都有自己的空氣潔凈標準和規範標準，都規定了有關的潔凈度等級，我國於1984年頒布《潔凈廠房策劃規範》（GBJ73-84），1996年該規......閱讀全文
發布者：愛的渴望不可及
